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发布时间:2021-11-19 03:28:39
电子特气系统的维护
由于特气系统是一种具有高风险的供应系统,因此在生产线现场的维护需要***、有经验的技术员完成。特气系统的维护主要包含气体柜维护和管路维护。
(1)特气柜又分为全自动特气柜与半自动特气柜,每种气柜的维护方法有一定的区别。全自动气柜维护自动化程度较高,并且安全可靠。在维护前关闭钢瓶阀门,设置换瓶吹扫,程序自动进行抽气,置换等动作,根据气体性质的不同,一般至少吹扫60次以上,负压保压30分钟以上,确保气柜各管路与阀门吹扫干净。特种气体的应用电子工业是当今推动科技发展的高新技术产业,由于所用气体的品种多、质量要求高,为有别于其它领域应用的气体,人们把这类在电子工业中用的气体统称为电子特种气体,它是当今兴起的高技术含量、高投入、高附加值的高新技术产业。
(2)管路的维护,由于不同的气体性质不一样,对管路维护的方法也不相同,对腐蚀性气体的管道需要多次用高纯氮气吹扫(N2purge),一般至少反复30次,对于有吸附性的液态源气体,由于管路容易堵塞,需要多次的反复的抽真空,抽完后关闭阀门,1小时后会出现压力表回表的现象,会造成管道泄漏的误导,遇到此情况打开真空器发生器继续抽,直到没有吸附气体释放为止。具体要求如下:①可燃气体比空气轻者,报警装置设置在所处场所的顶部。
以上两种系统维护后都必须做正压与负压的保压测试,一般正压保压压力为使用压力的1.2倍,负压保压为-12PSI,保压时间至少120分钟以上,由于压力传感器(PT)受温度的影响,一般有2PSI的正负波动。
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特气系统知识分享:标准气体
所谓标准气体就是用来校正测量仪器、评价测定方法、给出未知样品气标准值的气体。它分为调整零位用标准气体(零位气体)、监测环境用标准气、工业分析用标准气体、医1疗仪器用标准气体、可燃性气体泄漏用标准气体、燃烧器尾气用标准气体六大类。由于使用了标准气,所以即使在不同场所测定,也具有相同测定值。电子特气管道系统氦检漏检测规定1、氦检漏仪表应采用质谱型氦检测仪,其检测精度不得低于1*10-10mbar*l/s。
标准气体应用范围很广,在化工、石油冶金、机械、航天、电子、陶瓷、汽车、光纤、激光、潜水、环保、切割、焊接、食品加工等工业部门均使用大量的常用气体和特种气体。其中在石油化工领域对标准气体的需求量相对较大。
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高纯气体的输送管路系统
随着微电子工业的发展,超大规模集成电路制造的硅片尺寸越做越大,要求半导体制造工艺中的气体品质相应越来越高,对气体中杂质和露1点要求极为严格,需要达到ppb、ppt级,尘埃粒径求控制小于0.1~0.05m的微粒,因此对高纯气体的输送管路系统提出了非常高的要求 。艾明坷科技有限公司***致力于手套箱、溶剂净化等行业技术服务,艾明坷竭诚为您服务。
高纯供气系统
实验室集中供气系统比单独钢瓶供气模式有着较多的优势,越来越多的实验室建设者、工作者、管理者对实验室集中供气系统的使用已形成共识,采用集中供气作为实验室供气模式的主流设计方案得到广泛认可。实验室集中供气的设计应符合相关标准和规程的要求,保证实验室供气的稳定性、持续性和安全性。对于一些易1燃易1爆气体,如氢气等,可能在设计和施工过程中稍有差异,必须加入气体回火防止器等安全控制装置。
随着信息技术的快速发展,信息化在实验中心安全环保领域得到广泛应用。首先购置智能化门禁系统和***集成的监控系统,对实验中心安全环保实行全过程监控管理; 其次以生物学虚拟实验教学中心为依托,大力加强虚拟实验教学资源建设,以虚拟实验代替涉及高危或环境、高成本、高消耗的实验项目,既体现了安全环保的绿色理念,又提高了安全环保的信息化水平。它分为调整零位用标准气体(零位气体)、监测环境用标准气、工业分析用标准气体、医1疗仪器用标准气体、可燃性气体泄漏用标准气体、燃烧器尾气用标准气体六大类。
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