高纯供气系统报价常用指南「艾明坷」

实验室集中供气的优点

1、保持气体纯度

2、不间断气体供应：系统可以以手动方式和自动方式在气瓶之间进行切换，保证气体连续供应

3、低压警示：当气压低于警报限时，报警装置可自动启动报警

4、气体压力稳定：系统采用两级减压方式供气，可得到非常稳定的压力

5、率：通过供气控制系统，可充分使用气瓶中的气体，减少残气余量，降低用气成本

6、操作简便：所有气瓶存放在同一位置，减少搬运安装的操作，节约时间和成本费用

7、无气瓶在实验室：可提高安全性、提高安全感、节省实验室操作空间

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特种气体使用安全

首先,应对特气的危害性进行分析,通过本质安全设计,消除安全隐患。根据行业规范,对特气房选址、安全间距、防火分区、房间通风、电气防爆等进行评估。管道设计应进行保压和氦测漏,确保系统密闭性。钢瓶和管道阀门应选用隔膜或波纹管密封阀门。管道系统应采用焊接系统,机械接头均应置于抽风罩内。排放气体应进行安全处理。使用者只需管理较少的气瓶，***较少的气瓶租金，因为使用同一气体的所有使用点来自于同一个气源。气体输送设备具有紧急切断功能。操作应遵循标准操作规程。

其次,采用监测手段,预防事故发生。设置气体泄漏侦测器,监控气体泄漏。可燃性气体应设置高温或火焰侦测器。***气体应设置过流开关。特气系统气柜应进行负压监测,防止抽风系统的失效。侦测系统应与报警和紧急切断连锁。并能够保证标准气体流量、压力稳定和量值传递不发生变化，满足分析检测设备对使用气体的技术要求。系统还应进行远程监控。监控系统应设置不间断电源。

高纯气体的输送管路系统

随着微电子工业的发展，超大规模集成电路制造的硅片尺寸越做越大，要求半导体制造工艺中的气体品质相应越来越高，对气体中杂质和露1点要求极为严格，需要达到ppb、ppt级，尘埃粒径求控制小于0.1～0.05m的微粒，因此对高纯气体的输送管路系统提出了非常高的要求 。所有气体管路都是高质量的、完全退火、无缝不锈钢SS-316L。

高纯供气系统

供气系统的连接应符合 GB 50236－2011《现场设备、工业管道焊接工程施工规范》等标准的要求［11］。管道的连接应采用法兰连接或焊接等方法，氢气管道不应使用丝扣连接; 高纯气体管道应采用承插焊接; 气体管道与设备、阀门与管道或管件的连接应采用丝扣或法兰连接; 丝扣接头中的填料应采用聚四氟乙烯膜、一氧化铅、甘油调合填料; 对于高纯气体管道与阀件的连接应采用高压双卡套接头连接。因为气瓶间是相对***的，整个气路系统压力***1大的地方也是气瓶出口处，因此这种方式将气瓶压力可能发生的***缩小至气瓶间内，可对***及仪器的伤害可降到***1低。