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电子特气系统的维护

由于特气系统是一种具有高风险的供应系统，因此在生产线现场的维护需要***、有经验的技术员完成。特气系统的维护主要包含气体柜维护和管路维护。

（1）特气柜又分为全自动特气柜与半自动特气柜，每种气柜的维护方法有一定的区别。全自动气柜维护自动化程度较高，并且安全可靠。在维护前关闭钢瓶阀门，设置换瓶吹扫，程序自动进行抽气，置换等动作，根据气体性质的不同，一般至少吹扫60次以上，负压保压30分钟以上，确保气柜各管路与阀门吹扫干净。实验室气路安装要求1、所有气体管路都由高质量的、完全退火型、无缝连接的不锈钢管组成。

（2）管路的维护，由于不同的气体性质不一样，对管路维护的方法也不相同，对腐蚀性气体的管道需要多次用高纯氮气吹扫（N2purge），一般至少反复30次，对于有吸附性的液态源气体，由于管路容易堵塞，需要多次的反复的抽真空，抽完后关闭阀门，1小时后会出现压力表回表的现象，会造成管道泄漏的误导，遇到此情况打开真空器发生器继续抽，直到没有吸附气体释放为止。有部分气体具***、强腐蚀等特性，其一旦泄漏，就可能会对工作人员及仪器设备造成伤害。

以上两种系统维护后都必须做正压与负压的保压测试，一般正压保压压力为使用压力的1.2倍，负压保压为-12PSI，保压时间至少120分钟以上，由于压力传感器（PT）受温度的影响，一般有2PSI的正负波动。

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气净化设备

第I种

直接脱氧法。就是使用活性金属、催化剂与气中的氧气进行反应，消化掉气中的氧气，从而达到脱氧的目的，经过分子筛吸收掉气中的水份，使气的含水量小于1ppm。

第II种

是采用吸气剂。在一定温度下，吸气剂可吸收氮、氢、氧、、二氧化碳、等气体经吸收处理后，气的纯度可达到6个九，这种工艺生产出来的高纯气体适用于各类仪器仪表适用要求。

第I种方法设备***小，第II种方法设备纯化纯度高但***相对较大。

高纯供气系统

实验室一些仪器或设备的工作都需要各种各样的气体供应，通常使用气体的种类有高纯氧气、氮气; 气、氢气、氦气; 、、二氧化碳、，还有混合气体等甚至还有些设备还会用到******气体。有些气体用于仪器设备的驱动控制，如压缩空气。实验室供气的方式有两种，一种是传统的***钢瓶分散供气模式，这种供气模式为每台仪器设备单独配置气体钢瓶，分别满足每台仪器设备的使用。另一种模式为集中供气模式，该方式以储气罐、杜瓦瓶、气体发生器等作为气源，配置气体发生系统或自动切换或手动切换等系统，实现气体的不间断供应，通过耐压不锈钢管道将气体输送到用气端，每个端口的压力和流量可以按照仪器的要求进行单独控制，满足各种仪器设备的使用要求。在半导体工业中应用的有110余种单元特种气体,其中常用的有20～30种。

气瓶柜的技术要求为铝型35×35框架，柜门、侧板采用金属冷轧板，均用环氧树脂粉沫喷涂，内设可活动的气瓶抱箍，便于气瓶的更换和移动。地脚为不锈钢螺丝、尼龙罩盖、橡胶底座组合结构，可调节高度为0—0.3m。配置了气体泄漏报警、温度数字指示、气体***时自动排放。具有防爆、阻燃等功能。实验室应按照房间大小比例设计相应数量带逆风阀的换气扇，使空气流通顺畅，保持清洁。每个房间都要设计带有过滤装置的通气孔，如果是带有室内走廊的房间也可在门窗上设百叶窗，尺寸按照排气量比例关系计算。检漏灵敏度：也叫有效灵敏度，指检漏仪器在***1佳工作状态下能检出的***1小漏率。