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真空镀膜机的详细结构

高真空镀膜机，镀膜机是目前制作真空条件应用为广泛的设备。其相关组成及各部件：机械泵、增压泵、油扩散泵、冷凝泵、真空测量系统.

一、真空主体——真空腔

根据加工产品要求的各异，真空腔的大小也不一样，目前应用的有直径1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等，腔体由不锈钢材料制作，要求不生锈、坚实等，真空腔各部分有连接阀，用来连接各抽气泵浦。

二、辅助抽气系统

此排气系统采用“扩散泵+机械泵＋罗茨泵＋低温冷阱＋polycold”组成

排气流程为：机械泵先将真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空状态，为扩散泵后继抽真空提供前提，之后当扩散泵抽真空腔的时候，机械泵又配合油扩散泵组成串联，以这样的方式完成抽气动作。

排气系统为镀膜机真空系统的重要部分，主要有由机械泵、增压泵（主要介绍罗茨泵）、油扩散泵三大部分组成。

机械泵：也叫前级泵，机械泵是应用广泛的一种低真空泵，它是用油来保持密封效果并依靠机械的方法不断的改变泵内吸气空腔的体积，使被抽容器内气体的体积不断膨胀从而获得真空。

机械泵有很多种，常用的有滑阀式（此主要应用于大型设备）、活塞往复式、定片式和旋片式（此目前应用广泛，本文主要介绍）四种类型。

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真空镀膜设备的日常维护

真空镀膜设备的运行状况直接影响生产工艺、产品质量和生产进程等，为了使设备的运行状况良好，必须建立和完善设备的维护与维修制度、维护内容、维修标准等。

设备的维护要有日常维护和定期维护

1,日常维护就是在当天生产中发现设备有不良迹象，就马上解决。其实每一种设备都有自己的使用寿命，比如扩散泵用的的硅油，使用寿命为两年左右，我就规定1年半把它换掉，这样作是不是浪费，我觉得不浪费，从设备服务于生产来说是值得的，老板最不希望看到的是机器在生产阶段出现问题。发现机械泵的油少了就要添加，不要认为这油是定期更换的，等到了时间再维护，到时候可能泵的转子就会磨损严重了。再比如工件转架的轴承有些卡，就要更换轴承，而等到它彻底的坏了再换，问题可就大了，可能引起转架电机烧毁等现象。

2定期维护，有人会问有了日常维护还有必要定期维护吗?其实每一种设备都有自己的使用寿命，比如扩散泵用的的硅油，使用寿命为两年左右，我就规定1年半把它换掉，这样作是不是浪费，我觉得不浪费，从设备服务于生产来说是值得的，老板不希望看到的是机器在生产阶段出现问题。再比如工件转架的轴承有些卡，就要更换轴承，而等到它彻底的坏了再换，问题可就大了，可能引起转架电机烧毁等现象。只要你把日常维护和定期维护做好了，在延长设备寿命的同时，生产过程中出现故障的几率也大大降低。生产效率也提高了。

3,设备***和维修1重要的是讲究“细心”，每一个人都力求做到“我办事，你放心”，也就是说我做的事情不需要别人和自己再有怀疑!做好这一点可少走好多弯路，其次是要善于分析现象，不能盲目的拆卸。为真空镀膜设备做好检漏作业是很主要的，形成真空度降低的缘由多种多样，咱们要逐个的处理这些缘由，安稳镀膜的作用。说到这里，很多人都遇到过真空方面的漏气问题，真空部分出现了问题很麻烦，再加上我们公司没有检漏仪，这就要分阶段来找。

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真空镀膜基础知识

镀膜方法可以分为气相生成法，氧化法，离子注入法，扩散法，电镀法，涂布法，液相生长法等。气相生成法又可分为物***相沉积法，化学气相沉积法和放电聚合法等。

真空蒸发，溅射镀膜和离子镀等通常称为物***相沉积法，是基本的薄膜制备技术。它们都要求淀积薄膜的空间要有一定的真空度。所以，真空技术是薄膜制作技术的基础，获得并保持所需的真空环境，是镀膜的必要条件。